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“金属栅极” 标签

November 9, 2007: 高K-金属栅极和45纳米有什么关系?(中篇——大海捞针寻找新的替代材料)

中篇——大海捞针寻找新的替代材料 既然继续采用二氧化硅作为栅极介电质没有前途,那么就要另辟蹊径,有没有可以代替二氧化硅的材料呢?就是寻找比二氧化硅更好的“绝缘体”,用以更好的分隔栅极和晶体管的其他部分,而且替代材料需要具有比二氧化硅更高的介电常数和更好的场效应特性。...